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美國尤尼明IOTA-STD產品的Al、B、Li、K、Na、Ca、Mg、Ti、Fc、Mn、Cu、Cr、Ni等雜質元素總含量通常＜20×10-6，大值＜22×10-6。對于這樣高純度的物質，采用化學分析法和X射線熒光光譜法（XRF）是難以滿足其質量檢測要求的。
對于金屬元素，尤其是微量金屬元素的檢測，電感耦合等離子體發射光譜法（ICP-OES）具優勢，具有檢🥀出限良好，檢測精確度高、耗時短、靈敏度高等特點。目前ICP-OES已經成為檢測高純物料微量化學成分的有效方法。
ICP檢測技術是高純石英技🧸術的重要支撐和組成部分，對促進我國高純石英技術發展不僅具有現實意義，而且具有重要理論意義。
如下🃏表所示🍨，同樣是美國尤尼明高純石英樣品，其雜質含量的國內ICP檢測結果（81.89×10-6）與該公司文獻公布結果（大31.1×10-6）存在較大差異，說明目前我國在低雜質檢測技術上尚存在一些問題，與國際先進水平還存在明顯差距。
高純石英的物理和化學性質穩定，具有雜質含量低、溶礦難度大等特點。在高純石英檢測樣品消解和溶礦過程中，所涉及基本因素有：試樣重量、試劑組合、試劑🦋用量、試劑純度等。
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